TroubleShooting: SpecInfoRequestReply
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  1. [분석 #1] RUT trim info not found. PROCSEQ:1400 TOOL:21FCS014-04
메시지
분석 #1
RUT trim info not found. PROCSEQ:1400 TOOL:21FCS014-04
  1. RRM의 Spec 검사에서 발생한 오류입니다.
  2. RRM에 아래의 정보가 등록되지 않아서 발생한 오류입니다.
    공정코드(PROCCD): R0157 + 공정순서(VORNR): 1400 + TOOLID: 21FCS014-04
  3. RRM 담당자에게 해당 메시지를 전달합니다.